日本CKD化學液體用氣控閥AMD413R-20BUP-00N4F
①供液用化學液體閥 AMD※1H、MMD※0H系列
滿足Fab的高壓/大流量需求
液體供給線的綜合解決方案！！
■支持0.7MPa高壓、高背壓。
■氣動閥、手動閥產品系列。
■焊管用伸出管產品系列。
■便于確認動作（帶指示器）。
■附帶防過度擰緊、安全鎖緊機構（手動閥）。
②化學液體用氣控閥 集成閥GAMD0※2A系列
適用于半導體用清洗裝置的小型集成閥
■□30種尺寸適用于φ10氣管的小型大流量集成閥。
■支持流體壓力0.5MPa、背壓0.3MPa的高壓。
■接觸液體部位由PFA、PTFE構成，適用于腐蝕性流體的化學液體
分流。
■2～5連為標準品系列。
■對應配管尺寸φ6、φ8、φ10、1/4"、3/8"。
③精密減壓閥 PYM10、PMM20、PMP202、402系列
在半導體及LCD制造等使用潔凈化學液體（包括純水）的裝置
內，用于控制化學液體壓力的減壓閥
■強力去異物過濾器內置型
■流量及壓力特性優異，安裝簡單
■優良的耐腐蝕性
接觸液體部位采用氟樹脂（PFA、PTFE）以及SUS316，可以發揮優良的耐腐蝕性
■優良的壓力及流量特性
采用氟樹脂膜片，與金屬膜片相比，壓力及流量特性優異。
■內置過濾器，安全處理流體內的異物。
■采用面板安裝方式，安裝簡便，可進行底面安裝
■先導減壓閥
減壓閥通過先導空氣控制可以調節為穩定的壓力
④先導式3、4通閥 MN3E、MN4E系列
■環保
通過小型化、省電化，實現了輕量化、材料用量的減少和節能化。致力于減少影響環境的化學物質的使用，以焊接的無鉛化為主，使用材料符合JIG-101標
準。
■小型、省空間
除閥模塊寬10mm型的MN3/4E0 系列以外，還新增了閥模塊寬7mm、集成間距
7mm的MN3/4E00型。7mm間距，更緊湊的集成閥有助于裝置的小型化、高集成
化。
■高性能
·A口/B口均衡的響應性12ms。（N3E0 3通閥2個內置型的本公司數據值）
·無需繁瑣的接線作業
連接接插件后，可同時完成組裝和配線。
■安全性
·預防誤動作標配排氣誤動作防止閥、進一步防止誤操作的手動裝置保護罩、防止異
物混入用的供氣過濾網。追求*的安全性，預防閥誤動作。
⑤搭載2個3通閥的電磁閥集成閥MN3Q系列
■小型
通過降低集成的高度（高34mm），可以安裝在狹小的空間
■安裝
安裝方式從DIN導軌安裝和直接安裝中選擇
■配管
由于可選擇供氣排氣氣口的接出位置，配管時回旋自由度提高了
日本CKD化學液體用氣控閥AMD413R-20BUP-00N4F
型號選擇時的注意事項
注1：F-LOCK60系列接頭及PTFE閥體材質為接單生產品。
關于其它連接方式，請咨詢本公司。
注2：控制氣口方向、安裝板請參照外觀尺寸圖。
注3：執行元件選擇項：帶傳感器的情況，請咨詢本公司。
注1：因為大多數情況下是各種化學液體的混合液，因此一般無法把握所有影響。
請充分確認產品構成材料與所使用流體的適用性，判斷是否可以使用。
注2：如為氫氟酸或含氫氟酸的化學液體，則流體溫度為5～80℃。
氫氟酸或含氫氟酸的化學液體無法在帶旁通閥體中使用。
注3：在100℃以上的條件下使用硫酸 + 過氧化氫溶液時，請與本公司協商。
注4：在流體溫度為80℃以上的條件下使用胺類剝離劑時，請定期進行更換。
參考標準為少1次/1年。
注5：用于氣體時，可能會發生大1cm3
/分鐘（空氣壓條件下）的閥座泄漏。
判定
● 可使用。（詳細內容在產品記載頁確認。）請與本公司協商。（在某些條件下可適用。）
× 不可使用。
